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北方华创旗下三大类设备已进入14纳米工艺验证阶段

本文摘要:笔者从5月23日在北京举办的02根本性专项成果发布会上了解到,作为02专项的重点分担单位,北方华创通过将近九年的科技攻关,已完成了光刻机、磁控溅射、水解炉、高压化学气相沉积、清洗机、原子层沉积等集成电路设备90/55/40/28纳米工艺检验,构建产业化。据报,公司的光刻机等三大类集成电路设备转入14纳米工艺检验阶段,首次构建与国外设备实时检验。

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